|
Журнал технической физики, 1984, том 54, выпуск 5, страницы 934–937
(Mi jtf1787)
|
|
|
|
О применимости диффузионного приближения в моделях процессов ЭЖЭ
В. Н. Дмин, Ф. А. Кузнецов Институт неорганической химии СО АН СССР, Новосибирск
Аннотация:
Получено выражение для скорости осаждения
в стационарном процессе электрожидкостной эпитаксии с учетом кинетики
гетерогенной кристаллизации в предположении реакции первого порядка. Дается
простой критерий применимости диффузионного приближения
для рассмотренного процесса.
Проведены эксперименты по электрожидкостной эпитаксии арсенида галлия
с вращением подложки. Наличие кинетических затруднений в скорости
кристаллизации проявляется при вращении подложки со скоростями, большими
30 об/мин, что соответствует толщинам диффузионного слоя 0.1 мм.
Поступила в редакцию: 09.03.1983 Исправленный вариант: 20.09.1983
Образец цитирования:
В. Н. Дмин, Ф. А. Кузнецов, “О применимости диффузионного приближения в моделях процессов ЭЖЭ”, ЖТФ, 54:5 (1984), 934–937
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf1787 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v54/i5/p934
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 47 | PDF полного текста: | 22 |
|