Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 1985, том 55, выпуск 4, страницы 793–795 (Mi jtf1219)  
Краткие сообщения

Термодинамический анализ изменения состава диэлектрика в процессе формовки тонкопленочной системы Al$-$Si$_{x}$N$_{y}$O$_{z}{-}$Al

Ю. А. Баренгольц

Томский государственный педагогический институт им. Ленинского Комсомола
PDF полного текста (389 kB)
Поступила в редакцию: 05.07.1984
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Ю. А. Баренгольц, “Термодинамический анализ изменения состава диэлектрика в процессе формовки тонкопленочной системы Al$-$Si$_{x}$N$_{y}$O$_{z}{-}$Al”, ЖТФ, 55:4 (1985), 793–795
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{Bar85}
\by Ю.~А.~Баренгольц
\paper Термодинамический анализ изменения состава диэлектрика в~процессе
формовки тонкопленочной системы Al$-$Si$_{x}$N$_{y}$O$_{z}{-}$Al
\jour ЖТФ
\yr 1985
\vol 55
\issue 4
\pages 793--795
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf1219}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf1219
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v55/i4/p793
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:44
    PDF полного текста:12
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024