|
Журнал технической физики, 1987, том 57, выпуск 12, страницы 2340–2345
(Mi jtf1015)
|
|
|
|
Квантовая электроника
Иммерсионный метод измерения разностного рельефа
Е. А. Жукова, Ф. А. Митина, Ю. И. Островский, Н. О. Рейнганд Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, Ленинград
Аннотация:
Рассматривается иммерсионный метод
измерения разности рельефа поверхностей, основанный на том, что внутренняя
поверхность окна иммерсионной кюветы изготавливается с рельефом, обратным
рельефу эталона. Рассматривается также основанный на тех же принципах
метод измерения градиента рельефа.
Поступила в редакцию: 22.07.1986
Образец цитирования:
Е. А. Жукова, Ф. А. Митина, Ю. И. Островский, Н. О. Рейнганд, “Иммерсионный метод измерения разностного рельефа”, ЖТФ, 57:12 (1987), 2340–2345
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf1015 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v57/i12/p2340
|
|