|
Features of the metallization influence on phase velocities of acoustic waves in piezoelectric plates
[Особенности влияния металлизации на фазовые скорости акустических волн в пьезоэлектрических пластинах]
Olga P. Zolotovaa, Sergey I. Burkovb a Reshetnev Siberian State University of Science and Technology, Krasnoyarskiy Rabochiy, 31, Krasnoyarsk, 660037, Russia
b Institute of Engineering Physics and Radio Electronics, Siberian Federal University, Svobodny, 79, Krasnoyarsk, 660041, Russia
Аннотация:
В работе выполнен анализ влияния нагрузки в виде двух металлических слоев на изменение фазовой скорости дисперсионных мод упругой волны Лэмба и $SH$–волны в структурах вида "Me/ZnO/Me" и "Me/AlN/Me" в зависимости от частоты упругой волны и отношения толщин слоев металла и пьезоэлектрика. В качестве материалов металлического слоя (Me) использовали алюминий (Al), молибден (Mo) и платину (Pt). Только моды упругой волны Лэмба обладают локализованными максимумами чувствительности $S$ для всех типов структур. Системы с низкими значениями акустических импедансов материалов слоев и пластин обладают максимальными значениями $S$ при металлизации тонкими слоями, а также имеют минимальные отличия профилей компонент векторов смещений упругой волны. Системы с максимально различными значениями акустических импедансов материалов слоев и пластин обладают максимальными значениями $S$ при металлизации толстыми слоями, а также имеют максимальные отличия профилей компонент векторов смещений упругой волны.
Ключевые слова:
пьезоэлектрическая пластина, волна Лэмба, $SH$–волна, массовая нагрузка, компьютерное моделирование.
Получена: 08.05.2019 Исправленный вариант: 17.07.2019 Принята: 25.09.2019
Образец цитирования:
Olga P. Zolotova, Sergey I. Burkov, “Features of the metallization influence on phase velocities of acoustic waves in piezoelectric plates”, Журн. СФУ. Сер. Матем. и физ., 12:6 (2019), 718–727
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jsfu813 https://www.mathnet.ru/rus/jsfu/v12/i6/p718
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 189 | PDF полного текста: | 23 | Список литературы: | 12 |
|