Журнал Сибирского федерального университета. Серия «Математика и физика»
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Журн. СФУ. Сер. Матем. и физ.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал Сибирского федерального университета. Серия «Математика и физика», 2010, том 3, выпуск 1, страницы 118–124 (Mi jsfu110)  
Моделирование системы крепления эллипсометра с использованием CAD

Александр В. Ефремов, Сергей Г. Овчинников, Сергей Н. Варнаков, Николай Н. Косырев

Институт физики им. Л. В. Киренского СО РАН, г. Красноярск, Россия
PDF полного текста (733 kB)
Список литературы:
PDF
HTML
Аннотация: Рассматривается задача автоматизированного проектирования системы крепления плеч эллипсометра, являющегося частью установки молекулярно-лучевой эпитаксии с магнитооптическим эллипсометрическим комплексом. Показана возможность проектирования, управляемого заданными ограничивающими условиями. При помощи системы автоматизированного проектирования с использованием математического моделирования была найдена оптимальная форма крепления плеч эллипсометра. Было определено ускорение, возникающее при типичных перегрузках камеры, при этом максимальное отклонение луча на приемнике анализатора не превышало допустимого для проведения измерений отклонения.
Ключевые слова: CAD, математическое моделирование, эллипсометр, моделирование перегрузок, метод конечных элементов.
Получена: 18.12.2009
Исправленный вариант: 25.01.2010
Принята: 20.02.2010
Тип публикации: Статья
УДК: 53.084
Образец цитирования: Александр В. Ефремов, Сергей Г. Овчинников, Сергей Н. Варнаков, Николай Н. Косырев, “Моделирование системы крепления эллипсометра с использованием CAD”, Журн. СФУ. Сер. Матем. и физ., 3:1 (2010), 118–124
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{EfrOvcVar10}
\by Александр~В.~Ефремов, Сергей~Г.~Овчинников, Сергей~Н.~Варнаков, Николай~Н.~Косырев
\paper Моделирование системы крепления эллипсометра с~использованием CAD
\jour Журн. СФУ. Сер. Матем. и физ.
\yr 2010
\vol 3
\issue 1
\pages 118--124
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jsfu110}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jsfu110
  • https://www.mathnet.ru/rus/jsfu/v3/i1/p118
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал Сибирского федерального университета. Серия "Математика и физика"
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025