Влияние размера наночастиц на свойства емкостного высокочастотного разряда

Свойства емкостного ВЧ разряда с растущими наночастицами исследуются с использованием кинетического моделирования методом PIC-MCC. Показано, что на начальной стадии роста наночастицы располагаются на границе приэлектродного слоя и квазинейтральной плазмы, где скорость ионизации электронным ударом имеет максимальное значение. В начале формирования частиц параметры плазмы резко меняются, и при некотором критическом размере частиц наблюдается переход между емкостной и объемной модами горения разряда. При дальнейшем росте пылевых частиц их распределение по разряду становится более однородным, и установившиеся параметры газоразрядной плазмы практически не меняются.