|
Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики, 2010, том 91, выпуск 9, страницы 511–516
(Mi jetpl711)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)
КОНДЕНСИРОВАННЫЕ СРЕДЫ
Реконструкционная зависимость травления и пассивации поверхности GaAs(001)
О. Е. Терещенкоab, С. В. Еремеевcd, А. В. Бакулинc, С. Е. Кульковаdc a Институт физики полупроводников Сибирского отд. РАН
b Новосибирский государственный университет
c Томский государственный университет
d Институт физики прочности и материаловедения Сибирского отд. РАН
Аннотация:
Изучена микроскопическая природа селективного взаимодействия йода с As- и Ga-стабилизированными поверхностями GaAs(001) методом фотоэлектронной эмиссии и расчетами из первых принципов. Адсорбция йода на Ga-стабилизированную поверхность $(4\times2)/c(8\times2)$ приводит к образованию преимущественной химической связи с атомами галлия, значительному перераспределению электронной плотности между поверхностными атомами Ga и As и, как следствие, уменьшению их энергии связи. На As-стабилизированной поверхности $(2\times4)/c(2\times8)$ йод образует связь преимущественно с поверхностным мышьяком. Такое селективное взаимодействие йода с реконструированными поверхностями приводит к травлению Ga-стабилизированной поверхности и пассивации As-стабилизированной поверхности, что объясняет атомно-слоевое (“цифровое”) травление GaAs(001), контролируемое реконструкционными переходами на этой поверхности.
Поступила в редакцию: 25.03.2010
Образец цитирования:
О. Е. Терещенко, С. В. Еремеев, А. В. Бакулин, С. Е. Кулькова, “Реконструкционная зависимость травления и пассивации поверхности GaAs(001)”, Письма в ЖЭТФ, 91:9 (2010), 511–516; JETP Letters, 91:9 (2010), 466–470
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jetpl711 https://www.mathnet.ru/rus/jetpl/v91/i9/p511
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 394 | PDF полного текста: | 141 | Список литературы: | 46 |
|