Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Письма в ЖЭТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики, 2023, том 117, выпуск 1, страницы 37–42
DOI: https://doi.org/10.31857/S1234567823010044
(Mi jetpl6834)
 

Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)

ОПТИКА, ЛАЗЕРНАЯ ФИЗИКА

Двухфотонная лазерная печать функциональных микроструктур интегральной фотоники: волноводов, микрорезонаторов и призменных адаптеров ввода/вывода оптического излучения

А. И. Майдыковскийa, Д. А. Апостоловa, Е. А. Мамоновab, Д. А. Копыловa, С. А. Дагесянa, Т. В. Мурзинаba

a Физический факультет МГУ имени М. В. Ломоносова, 119991 Москва, Россия
b Факультет физики, Национальный исследовательский университет “Высшая школа экономики”, 109028 Москва, Россия
Список литературы:
Аннотация: Разработка и оптимизация методов создания функциональных элементов микронных и субмикронных размеров для фотонных интегральных схем является одной из основных задач нанофотоники. В настоящее время активно развивается метод двухфотонной лазерной литографии (ДФЛЛ), позволяющий формировать трехмерные структуры с субволновым разрешением. В данной работе продемонстрированы результаты по развитию этого метода и показано, что использование оптимизированных схем печати, пространственной фильтрации используемого лазерного излучения, введение в полимер лазерных красителей приводит как к формированию оптически однородных и качественных объемных микрострутур с характерными особенностями вплоть до 300 нм, так и приданию им функциональных свойств. Возможности данного оптимизированного метода ДФЛЛ продемонстрированы на примере кольцевых микрорезонаторов и расположенных над подложкой оптических волноводов с призменными адаптерами ввода/вывода излучения. Оптические потери при заведении излучения в волновод на длине волны 405 нм с помощью напечатанного призменного адаптера составили не более 1.25 дБ.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский фонд фундаментальных исследований 20-52-7819
Работа выполнена при финансовой поддержке гранта Российского фонда фундаментальных исследований # 20-52-7819 и Междисциплинарной научно-образовательной школы Московского университета “Фотонные и квантовые технологии. Цифровая медицина”.
Поступила в редакцию: 20.10.2022
Исправленный вариант: 10.11.2022
Принята в печать: 11.11.2022
Англоязычная версия:
Journal of Experimental and Theoretical Physics Letters, 2023, Volume 117, Issue 1, Pages 32–37
DOI: https://doi.org/10.1134/S0021364022602743
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. И. Майдыковский, Д. А. Апостолов, Е. А. Мамонов, Д. А. Копылов, С. А. Дагесян, Т. В. Мурзина, “Двухфотонная лазерная печать функциональных микроструктур интегральной фотоники: волноводов, микрорезонаторов и призменных адаптеров ввода/вывода оптического излучения”, Письма в ЖЭТФ, 117:1 (2023), 37–42; JETP Letters, 117:1 (2023), 32–37
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{MaiApoMam23}
\by А.~И.~Майдыковский, Д.~А.~Апостолов, Е.~А.~Мамонов, Д.~А.~Копылов, С.~А.~Дагесян, Т.~В.~Мурзина
\paper Двухфотонная лазерная печать функциональных микроструктур интегральной фотоники: волноводов, микрорезонаторов и призменных адаптеров ввода/вывода оптического излучения
\jour Письма в ЖЭТФ
\yr 2023
\vol 117
\issue 1
\pages 37--42
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jetpl6834}
\crossref{https://doi.org/10.31857/S1234567823010044}
\edn{https://elibrary.ru/nverov}
\transl
\jour JETP Letters
\yr 2023
\vol 117
\issue 1
\pages 32--37
\crossref{https://doi.org/10.1134/S0021364022602743}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jetpl6834
  • https://www.mathnet.ru/rus/jetpl/v117/i1/p37
  • Эта публикация цитируется в следующих 3 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики Pis'ma v Zhurnal Иksperimental'noi i Teoreticheskoi Fiziki
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:80
    Список литературы:28
    Первая страница:12
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024