|
ОПТИКА, ЛАЗЕРНАЯ ФИЗИКА
Двухфотонная лазерная печать функциональных микроструктур интегральной фотоники: волноводов, микрорезонаторов и призменных адаптеров ввода/вывода оптического излучения
А. И. Майдыковскийa, Д. А. Апостоловa, Е. А. Мамоновab, Д. А. Копыловa, С. А. Дагесянa, Т. В. Мурзинаba a Физический факультет МГУ имени М. В. Ломоносова, 119991 Москва, Россия
b Факультет физики, Национальный исследовательский университет “Высшая школа экономики”, 109028 Москва, Россия
Аннотация:
Разработка и оптимизация методов создания функциональных элементов микронных и субмикронных размеров для фотонных интегральных схем является одной из основных задач нанофотоники. В настоящее время активно развивается метод двухфотонной лазерной литографии (ДФЛЛ), позволяющий формировать трехмерные структуры с субволновым разрешением. В данной работе продемонстрированы результаты по развитию этого метода и показано, что использование оптимизированных схем печати, пространственной фильтрации используемого лазерного излучения, введение в полимер лазерных красителей приводит как к формированию оптически однородных и качественных объемных микрострутур с характерными особенностями вплоть до 300 нм, так и приданию им функциональных свойств. Возможности данного оптимизированного метода ДФЛЛ продемонстрированы на примере кольцевых микрорезонаторов и расположенных над подложкой оптических волноводов с призменными адаптерами ввода/вывода излучения. Оптические потери при заведении излучения в волновод на длине волны 405 нм с помощью напечатанного призменного адаптера составили не более 1.25 дБ.
Поступила в редакцию: 20.10.2022 Исправленный вариант: 10.11.2022 Принята в печать: 11.11.2022
Образец цитирования:
А. И. Майдыковский, Д. А. Апостолов, Е. А. Мамонов, Д. А. Копылов, С. А. Дагесян, Т. В. Мурзина, “Двухфотонная лазерная печать функциональных микроструктур интегральной фотоники: волноводов, микрорезонаторов и призменных адаптеров ввода/вывода оптического излучения”, Письма в ЖЭТФ, 117:1 (2023), 37–42; JETP Letters, 117:1 (2023), 32–37
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jetpl6834 https://www.mathnet.ru/rus/jetpl/v117/i1/p37
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 60 | Список литературы: | 18 | Первая страница: | 9 |
|