|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
ОПТИКА, ЛАЗЕРНАЯ ФИЗИКА
Прецизионное измерение оптических характеристик приповерхностного слоя твердых тел
Л. А. Федюхинa, А. В. Горчаковb, Н. Г. Коробейщиковb, И. В. Николаевb a Институт физики полупроводников Сибирского отделения РАН, 630090 Новосибирск, Россия
b Новосибирский государственный университет, 630090 Новосибирск, Россия
Аннотация:
Предложен метод измерения и алгоритм расчета показателя преломления оптических материалов, основанный на модели трехслойной структуры. Проведена экспериментальная апробация метода с использованием оптических мер. Численно показана единственность восстановления показателей преломления подложки, приповерхностного слоя, а также толщины слоя по измерению коэффициента отражения зондирующего излучения в области угла Брюстера и угла нормального падения. Впервые измерены показатель преломления приповерхностного слоя с абсолютной погрешностью измерения $\pm10^{-4}$ и толщина приповерхностного слоя с доверительной погрешностью $\pm1\,$нм.
Поступила в редакцию: 09.08.2021 Исправленный вариант: 11.08.2021 Принята в печать: 11.08.2021
Образец цитирования:
Л. А. Федюхин, А. В. Горчаков, Н. Г. Коробейщиков, И. В. Николаев, “Прецизионное измерение оптических характеристик приповерхностного слоя твердых тел”, Письма в ЖЭТФ, 114:5 (2021), 304–310; JETP Letters, 114:5 (2021), 256–262
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jetpl6498 https://www.mathnet.ru/rus/jetpl/v114/i5/p304
|
|