|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
РАЗНОЕ
Оптические и структурные эффекты при многоимпульсной интерференционной фемтосекундной лазерной фабрикации метаповерхностей на тонкой пленке аморфного кремния
С. И. Кудряшовab, П. А. Даниловba, А. П. Порфирьевcd, А. А. Руденкоa, Н. Н. Мельникa, А. А. Кучмижакbe, О. Б. Витрикeb, А. А. Ионинa a Физический институт им. П. Н. Лебедева, 119991 Москва, Россия
b Институт автоматики и процессов управления ДВО РАН, 690041 Владивосток, Россия
c Институт систем обработки изображений РАН – филиал Федерального научно-исследовательского центра “Кристаллография и фотоника” РАН, 443001 Самара, Россия
d Самарский национальный исследовательский университет им. академика С. П. Королёва, 443086 Самара, Россия
e Дальневосточный федеральный университет, 690041 Владивосток, Россия
Аннотация:
Экспериментально исследовано формирование микромасштабных гексагональных массивов нано-отверстий (метаповерхностей) в пленке гидрогенизированного аморфного кремния толщиной 50 нм путем трехлучевой интерференции фемтосекундных лазерных импульсов видимого диапазона (длина волны – 515 нм) в зависимости от экспозиции пленки. Характеризация массивов методами сканирующей электронной и оптической микроскопии, а также микроспектроскопии оптического пропускания и отражения показывает постепенное испарительное формирование в кремниевой пленке нано-отверстий и метаповерхности в целом по мере роста числа лазерных импульсов при их фиксированной энергии, с одновременным ростом объемного содержания кристаллической фазы согласно данным микроспектроскопии комбинационного рассеяния света.
Поступила в редакцию: 23.10.2019 Исправленный вариант: 06.11.2019 Принята в печать: 06.11.2019
Образец цитирования:
С. И. Кудряшов, П. А. Данилов, А. П. Порфирьев, А. А. Руденко, Н. Н. Мельник, А. А. Кучмижак, О. Б. Витрик, А. А. Ионин, “Оптические и структурные эффекты при многоимпульсной интерференционной фемтосекундной лазерной фабрикации метаповерхностей на тонкой пленке аморфного кремния”, Письма в ЖЭТФ, 110:11 (2019), 759–764; JETP Letters, 110:11 (2019), 755–759
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jetpl6064 https://www.mathnet.ru/rus/jetpl/v110/i11/p759
|
|