Физико-химические механизмы наноструктурирования стекла фемтосекундными лазерными импульсами с использованием селективного травления

Представлено исследование процессов при наноструктурировании стекла под действием одиночных жестко сфокусированных фемтосекундных лазерных импульсов с использованием селективного химического травления в растворе щелочи. Продемонстрировано создание структур с шириной до 50 нм, выявлена зависимость морфологии и размеров получаемых структур от параметров лазерного излучения и времени травления. Измерения флуоресценции стекла при варьировании поляризации и энергии лазерного импульса в широких пределах позволили обнаружить характер процессов нелинейного поглощения в образце. Полученные данные проливают свет на физико-химические процессы в стекле, приводящие к селективному химическому травлению, и демонстрируют преимущества данного метода над методом простой лазерной обработки стекла для создания сложных структур с субдифракционным разрешением.