|
Эта публикация цитируется в 29 научных статьях (всего в 29 статьях)
КОНДЕНСИРОВАННОЕ СОСТОЯНИЕ
Механизм транспорта заряда в тонких пленках аморфного и сегнетоэлектрического Hf$_{0.5}$Zr$_{0.5}$O$_2$
Д. Р. Исламовab, А. Г. Черниковаc, М. Г. Козодаевc, А. М. Маркеевc, Т. В. Переваловab, В. А. Гриценкоab, О. М. Орловd a Институт физики полупроводников им. Ржанова СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия
b Новосибирский государственный университет, 630090 Новосибирск, Россия
c Московский физико-технический институт, 141700 Долгопрудный, Россия
d Научно-исследовательский институт молекулярной электроники, 124460 Зеленоград, Россия
Аннотация:
Исследован механизм транспорта заряда в тонких аморфных и сегнетоэлектрических пленках Hf$_{0.5}$Zr$_{0.5}$O$_2$. Показано, что в изучаемых материалах механизм транспорта не зависит от кристаллической фазы и является фонон-облегченным туннелированием между ловушками. В результате сравнения экспериментальных вольт-амперных характеристик структур TiN/Hf$_{0.5}$Zr$_{0.5}$O$_2$/Pt с рассчитанными определены параметры ловушки: термическая энергия $1.25$ эВ и оптическая энергия $2.5$ эВ. Оценена концентрация ловушек: ${\sim}10^{19}{-}10^{20}$ см$^{-3}$.
Поступила в редакцию: 11.08.2015 Исправленный вариант: 28.08.2015
Образец цитирования:
Д. Р. Исламов, А. Г. Черникова, М. Г. Козодаев, А. М. Маркеев, Т. В. Перевалов, В. А. Гриценко, О. М. Орлов, “Механизм транспорта заряда в тонких пленках аморфного и сегнетоэлектрического Hf$_{0.5}$Zr$_{0.5}$O$_2$”, Письма в ЖЭТФ, 102:8 (2015), 610–614; JETP Letters, 102:8 (2015), 544–547
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jetpl4769 https://www.mathnet.ru/rus/jetpl/v102/i8/p610
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 238 | PDF полного текста: | 52 | Список литературы: | 37 | Первая страница: | 11 |
|