Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖЭТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики, 2001, том 73, выпуск 9, страницы 536–541 (Mi jetpl4387)  
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)

КОНДЕНСИРОВАННЫЕ СРЕДЫ

Сегрегация бора, имплантированного в кремний, на угловых конфигурациях границы окисления кремний/двуокись кремния

Г. А. Тарнавскийa, С. И. Шпакa, М. С. Обрехтb

a Институт теоретической и прикладной механики СО РАН, г. Новосибирск
b Siborg System Inc., University of Waterloo
PDF полного текста (495 kB) Список цитирования (2)
Аннотация: На основе компьютерного моделирования физико-химического процесса сегрегации легирующих примесей, имплантированных в базовый материал (кремний), изучаются особенности инжекции бора B на 4 типах угловых конфигурациях границы окисления «кремний/двуокись кремния» (прямой и обратный уступы, каверны типа «траншея» и «квадрат»), получены и проанализированы в главных чертах сложные картины распределения концентраций B в областях Si, SiO$_2$ и фронте SiO$_2$/Si.
Поступила в редакцию: 23.03.2001
Англоязычная версия:
Journal of Experimental and Theoretical Physics Letters, 2001, Volume 73, Issue 9, Pages 474–478
DOI: https://doi.org/10.1134/1.1385661
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
PACS: 02.70.-c, 66.30.Jt, 68.10.Gw
Образец цитирования: Г. А. Тарнавский, С. И. Шпак, М. С. Обрехт, “Сегрегация бора, имплантированного в кремний, на угловых конфигурациях границы окисления кремний/двуокись кремния”, Письма в ЖЭТФ, 73:9 (2001), 536–541; JETP Letters, 73:9 (2001), 474–478
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{TarShpObr01}
\by Г.~А.~Тарнавский, С.~И.~Шпак, М.~С.~Обрехт
\paper Сегрегация бора, имплантированного в кремний, на угловых конфигурациях границы окисления кремний/двуокись кремния
\jour Письма в ЖЭТФ
\yr 2001
\vol 73
\issue 9
\pages 536--541
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jetpl4387}
\transl
\jour JETP Letters
\yr 2001
\vol 73
\issue 9
\pages 474--478
\crossref{https://doi.org/10.1134/1.1385661}
\scopus{https://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-0040079697}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jetpl4387
  • https://www.mathnet.ru/rus/jetpl/v73/i9/p536
    • Эта публикация цитируется в следующих 2 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики Pis'ma v Zhurnal Иksperimental'noi i Teoreticheskoi Fiziki
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024