Распыление металлов при ионно-электронном облучении

Обнаружено, что вопреки общепринятому представлению одновременное облучение ионами Ar$^+$ ($15$ кэВ) и электронами ($2.5$ кэВ) при температурах выше $0.5T_m$ ($T_m$ – температура плавления) вызывает значительно большее распыление металлов Cu, Ni и стали, чем облучение только ионами Ar$^+$. Эффект нарастает с ростом температуры. При $T= 0.7T_m$ коэффициенты ионно-электронного распыления превышают коэффициенты распыления только ионами Ar$^+$ более чем в 2 раза. Эксперименты по изучению сублимации меди показали, что при нагреве образца электронным пучком скорость сублимации больше, чем при нагреве в электровакуумной печи. Обнаруженные эффекты объясняются возбуждением электронами адатомов (выступающих над поверхностью атомов, которые создаются ионной бомбардировкой). Возбужденные адатомы имеют меньшую энергию связи с поверхностью и легче распыляются.