|
Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики, 2009, том 89, выпуск 2, страницы 80–83
(Mi jetpl341)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
КОНДЕНСИРОВАННЫЕ СРЕДЫ
Получение слоев нанокристаллического кремния методом стимулированного плазмой осаждения (PECVD) из газовой фазы тетрафторида кремния
П. Г. Сенниковa, С. В. Голубевa, В. И. Шашкинb, Д. А. Пряхинb, М. Н. Дроздовb, Б. А. Андреевb, Ю. Н. Дроздовb, А. С. Кузнецовc, Х.-Й. Польd a Институт прикладной физики РАН
b Институт физики микроструктур РАН
c ЗАО ``Астор"
d VITCON Projeсtconsult GmbH, D-07743 Jena, Germany
Аннотация:
Сообщается о результатах получения слоев кремния методом плазмохимического осаждения в системе тетрафторид кремния – водород. Образцы исследованы методами рентгеновской дифракции, рамановской спектроскопии и вторичной ионной масс-спектрометрии. По фазовому составу слои представляют собой нанокристаллический кремний с размером кристаллических областей от 3 до 9 нм в зависимости от условий проведения процесса. Образцы обладают интенсивной фотолюминесценцией при комнатной температуре.
Поступила в редакцию: 02.12.2008
Образец цитирования:
П. Г. Сенников, С. В. Голубев, В. И. Шашкин, Д. А. Пряхин, М. Н. Дроздов, Б. А. Андреев, Ю. Н. Дроздов, А. С. Кузнецов, Х.-Й. Поль, “Получение слоев нанокристаллического кремния методом стимулированного плазмой осаждения (PECVD) из газовой фазы тетрафторида кремния”, Письма в ЖЭТФ, 89:2 (2009), 80–83; JETP Letters, 89:2 (2009), 73–75
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jetpl341 https://www.mathnet.ru/rus/jetpl/v89/i2/p80
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 291 | PDF полного текста: | 103 | Список литературы: | 39 |
|