Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖЭТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики, 2009, том 89, выпуск 2, страницы 80–83 (Mi jetpl341)  
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)

КОНДЕНСИРОВАННЫЕ СРЕДЫ

Получение слоев нанокристаллического кремния методом стимулированного плазмой осаждения (PECVD) из газовой фазы тетрафторида кремния

П. Г. Сенниковa, С. В. Голубевa, В. И. Шашкинb, Д. А. Пряхинb, М. Н. Дроздовb, Б. А. Андреевb, Ю. Н. Дроздовb, А. С. Кузнецовc, Х.-Й. Польd

a Институт прикладной физики РАН
b Институт физики микроструктур РАН
c ЗАО ``Астор"
d VITCON Projeсtconsult GmbH, D-07743 Jena, Germany
PDF полного текста (484 kB) Список цитирования (4)
Список литературы:
PDF
HTML
Аннотация: Сообщается о результатах получения слоев кремния методом плазмохимического осаждения в системе тетрафторид кремния – водород. Образцы исследованы методами рентгеновской дифракции, рамановской спектроскопии и вторичной ионной масс-спектрометрии. По фазовому составу слои представляют собой нанокристаллический кремний с размером кристаллических областей от 3 до 9 нм в зависимости от условий проведения процесса. Образцы обладают интенсивной фотолюминесценцией при комнатной температуре.
Поступила в редакцию: 02.12.2008
Англоязычная версия:
Journal of Experimental and Theoretical Physics Letters, 2009, Volume 89, Issue 2, Pages 73–75
DOI: https://doi.org/10.1134/S0021364009020052
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
PACS: 52.77.Dq, 61.46.Hk, 73.63.Bd, 81.07.Bc
Образец цитирования: П. Г. Сенников, С. В. Голубев, В. И. Шашкин, Д. А. Пряхин, М. Н. Дроздов, Б. А. Андреев, Ю. Н. Дроздов, А. С. Кузнецов, Х.-Й. Поль, “Получение слоев нанокристаллического кремния методом стимулированного плазмой осаждения (PECVD) из газовой фазы тетрафторида кремния”, Письма в ЖЭТФ, 89:2 (2009), 80–83; JETP Letters, 89:2 (2009), 73–75
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{SenGolSha09}
\by П.~Г.~Сенников, С.~В.~Голубев, В.~И.~Шашкин, Д.~А.~Пряхин, М.~Н.~Дроздов, Б.~А.~Андреев, Ю.~Н.~Дроздов, А.~С.~Кузнецов, Х.-Й.~Поль
\paper Получение слоев нанокристаллического кремния методом стимулированного плазмой осаждения (PECVD) из газовой фазы тетрафторида кремния
\jour Письма в ЖЭТФ
\yr 2009
\vol 89
\issue 2
\pages 80--83
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jetpl341}
\transl
\jour JETP Letters
\yr 2009
\vol 89
\issue 2
\pages 73--75
\crossref{https://doi.org/10.1134/S0021364009020052}
\isi{https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=Publons&SrcAuth=Publons_CEL&DestLinkType=FullRecord&DestApp=WOS_CPL&KeyUT=000264483300005}
\scopus{https://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-65549135147}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jetpl341
  • https://www.mathnet.ru/rus/jetpl/v89/i2/p80
    • Эта публикация цитируется в следующих 4 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики Pis'ma v Zhurnal Иksperimental'noi i Teoreticheskoi Fiziki
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:291
    PDF полного текста:103
    Список литературы:39
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024