|
Эта публикация цитируется в 10 научных статьях (всего в 10 статьях)
КОНДЕНСИРОВАННОЕ СОСТОЯНИЕ
Особенности структуры и дефектных состояний в пленках
гидрогенизированного полиморфного кремния
А. В. Емельяновa, Е. А. Константиноваa, П. А. Форшab, А. Г. Казанскийa, М. В. Хенкинa, Н. Н. Петроваa, Е. И. Теруковc, Д. А. Кириленкоc, Н. А. Бертc, С. Г. Конниковc, П. К. Кашкаровac a Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова, физический факультет
b Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт"
c Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН
Аннотация:
Методами просвечивающей электронной микроскопии, спектроскопии
электронного парамагнитного резонанса и рамановской спектроскопии исследованы
структурные и электронные свойства тонких пленок гидрогенизированного полиморфного
кремния, полученных методом плазмохимического осаждения смеси газов водорода (H$_2$) и
моносилана (SiH$_4$). Определено, что исследованные пленки состоят из аморфной фазы,
содержащей кремниевые нанокристаллические включения со средним размером порядка
$4$–$5$ нм и объемной долей $10\%$. При исследовании ЭПР-спектроскопии
в пленках
гидрогенизированного полиморфного кремния обнаружен сигнал, приписываемый
электронам, захваченным в хвост зоны проводимости микрокристаллического кремния.
Показано, что введение в пленки аморфного кремния небольшой доли нанокристаллов
неаддитивным образом изменяет электронные свойства материала.
Поступила в редакцию: 13.02.2013
Образец цитирования:
А. В. Емельянов, Е. А. Константинова, П. А. Форш, А. Г. Казанский, М. В. Хенкин, Н. Н. Петрова, Е. И. Теруков, Д. А. Кириленко, Н. А. Берт, С. Г. Конников, П. К. Кашкаров, “Особенности структуры и дефектных состояний в пленках
гидрогенизированного полиморфного кремния”, Письма в ЖЭТФ, 97:8 (2013), 536–540; JETP Letters, 97:8 (2013), 466–469
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jetpl3404 https://www.mathnet.ru/rus/jetpl/v97/i8/p536
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 260 | PDF полного текста: | 76 | Список литературы: | 40 | Первая страница: | 7 |
|