|
Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики, 2002, том 75, выпуск 2, страницы 100–102
(Mi jetpl3030)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
КОНДЕНСИРОВАННЫЕ СРЕДЫ
Самоформирование системы высокоупорядоченных наноостровков германия при эпитаксии на профилированные кремниевые (111) подложки в условиях электропереноса
И. В. Закурдаевa, С. Ю. Садофьевa, А. О. Погосовb a Рязанская государственная радиотехническая академия
b Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН, г. Москва
Аннотация:
При помощи атомно-силового микроскопа проведено исследование топографии поверхности SiGe структур, сформированных при эпитаксии Ge на профилированные подложки Si(111) в условиях электромиграции. Получены системы высокоупорядоченных наноостровков германия размерами (10–20) нм и плотностью $6\cdot10^{10}$ см$^{-2}$. Показана принципиальная возможность управляемого воздействия на геометрические параметры самоорганизующихся наноостровков за счет выбора условий формирования и послеростового отжига структур.
Поступила в редакцию: 11.12.2001
Образец цитирования:
И. В. Закурдаев, С. Ю. Садофьев, А. О. Погосов, “Самоформирование системы высокоупорядоченных наноостровков германия при эпитаксии на профилированные кремниевые (111) подложки в условиях электропереноса”, Письма в ЖЭТФ, 75:2 (2002), 100–102; JETP Letters, 75:2 (2002), 91–92
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jetpl3030 https://www.mathnet.ru/rus/jetpl/v75/i2/p100
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 165 | PDF полного текста: | 61 | Список литературы: | 38 |
|