Кавитационный механизм распыления материалов медленными многозарядными ионами

Развит термодинамический подход к распылению материалов медленными многозарядными ионами, основанный на кавитационном механизме разрушения приповерхностного слоя материала. Показано, что сильное электрическое поле медленного высокозаряженного иона, приближающегося к поверхности диэлектрика, приводит к формированию растянутой метастабильной приповерхностной области, в которой спонтанно могут возникнуть образующие перколяционный кластер каверны, что приводит к разрушению этой области (кавитационная электровзрывная эрозия). Найденные универсальные зависимости объема области разрушения от заряда и свойств поверхности находятся в качественном согласии с экспериментальными данными по распылению поверхностей LiF и SiO$_2$ медленными ионами аргона и ксенона.