|
Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики, 2008, том 88, выпуск 6, страницы 421–425
(Mi jetpl227)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
КОНДЕНСИРОВАННЫЕ СРЕДЫ
Воздействие электронного пучка на эпитаксиальные слои CaF$_2$ и BaF$_2$ на Si
С. П. Супрун, Д. В. Щеглов Институт физики полупроводников Сибирского отд. РАН, 630090 Новосибирск, Россия
Аннотация:
На подложках Si(111) методом молекулярно-лучевой эпитаксии последовательно выращены атомарно гладкие слои CaF$_2$ и BaF$_2$. В местах воздействия электронного пучка дифрактометра при анализе кристаллической структуры поверхности во время роста при последующем наблюдении методом атомно-силовой микроскопии выявлены макродефекты типа пор. Их образование связано с разложением фторидов под действием высокоэнергетичных электронов, сопровождающимся десорбцией фтора и дрейфовым током положительных ионов из мест стока электронного заряда.
Поступила в редакцию: 04.07.2008
Образец цитирования:
С. П. Супрун, Д. В. Щеглов, “Воздействие электронного пучка на эпитаксиальные слои CaF$_2$ и BaF$_2$ на Si”, Письма в ЖЭТФ, 88:6 (2008), 421–425; JETP Letters, 88:6 (2008), 365–369
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jetpl227 https://www.mathnet.ru/rus/jetpl/v88/i6/p421
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 209 | PDF полного текста: | 95 | Список литературы: | 56 |
|