|
Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики, 2004, том 79, выпуск 1, страницы 25–29
(Mi jetpl2199)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
АТОМЫ, СПЕКТРЫ, ИЗЛУЧЕНИЯ
Исследование механизмов ионизации акцепторной примеси алюминия в кремнии
Т. Н. Мамедовa, Д. Г. Андриановb, Д. Герлахc, В. Н. Горелкинd, А. В. Стойковa, У. Циммерманнc a Объединенный институт ядерных исследований, 141980 Дубна, Московская обл., Россия
b Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности "Гиредмет", 109017 Москва, Россия
c Paul Scherrer Institute, CH-5232 Villigen PSI, Switzerland
d Московский физико-технический институт,
141700 Долгопрудный, Московская обл., Россия
Аннотация:
Исследуются процессы ионизации мелких акцепторных центров (АЦ) в кремнии. Примесные атомы $_\mu$Al в исследуемых образцах кристаллического кремния с примесью фосфора ($1.6\cdot10^{13}$, $2.7\cdot10^{13}$ и $2.3\cdot10^{15}$ см$^{-3}$) и бора ($1.3\cdot10^{15}$ см$^{-3}$) создавались путем имплантации отрицательных мюонов. Установлено, что как в $p$-типа кремнии, так и в кремнии $n$-типа с концентрацией примеси $\lesssim10^{15}$ см$^{-3}$, основным механизмом ионизации акцепторной примеси Al при $T>45$ K является тепловая ионизация. Скорость тепловой ионизации АЦ Al в Si изменяется от $\sim10^5$ до $\sim10^6$ с$^{-1}$ в интервале температур $45$–$55$ K.
Поступила в редакцию: 12.11.2003
Образец цитирования:
Т. Н. Мамедов, Д. Г. Андрианов, Д. Герлах, В. Н. Горелкин, А. В. Стойков, У. Циммерманн, “Исследование механизмов ионизации акцепторной примеси алюминия в кремнии”, Письма в ЖЭТФ, 79:1 (2004), 25–29; JETP Letters, 79:1 (2004), 21–24
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jetpl2199 https://www.mathnet.ru/rus/jetpl/v79/i1/p25
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 275 | PDF полного текста: | 65 | Список литературы: | 47 |
|