Люминесценция аморфных нанокластеров кремния

Методом магнетронного распыления на постоянном токе выращены пленки аморфного субоксида кремния $\alpha$-SiO$_x$, содержащие аморфные нанокластеры кремния. Исследованы их оптические свойства. Обнаружено, что в спектрах фотолюминесценции относительно больших аморфных нанокластеров (размером ${\sim}\,2$ нм) наблюдаются две полосы излучения, в отличие от одной полосы фотолюминесценции нанокристаллов кремния этого же размера. Форма спектров при изменении размеров нанокластеров хорошо согласуется с предсказанной в теоретических работах, в которых расчет энергетического спектра аморфных нанокластеров производился с учетом размерного квантования как делокализованных и слабо локализованных, так и сильно локализованных состояний.