|
Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики, 2011, том 94, выпуск 2, страницы 116–119
(Mi jetpl1961)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)
КОНДЕНСИРОВАННОЕ СОСТОЯНИЕ
Ионная имплантация в металлы с одновременным электронным облучением
С. Н. Звонков, С. Н. Коршунов, Ю. В. Мартыненко, И. Д. Скорлупкин Российский научный центр "Курчатовский институт", г. Москва
Аннотация:
Обнаружено изменение распределений атомов азота и углерода, имплантированных с энергиями $10$ и $30$ кэВ, по глубине образцов из никеля и нержавеющей стали в результате сопутствующего облучения электронами с энергией $1$ кэВ. Вместо одного максимума распределения появляются два максимума, один ближе к поверхности, а второй на большей глубине, чем при имплантации без электронного облучения. Влияние электронного облучения объясняется образованием в системе атомов примеси зоны, находящейся выше уровня Ферми, в которую электроны металла переходят в результате возбуждения бомбардирующими электронами. Электроны в этой зоне имеют достаточно большое время жизни и увеличивают подвижность атомов примесей.
Поступила в редакцию: 20.05.2011
Образец цитирования:
С. Н. Звонков, С. Н. Коршунов, Ю. В. Мартыненко, И. Д. Скорлупкин, “Ионная имплантация в металлы с одновременным электронным облучением”, Письма в ЖЭТФ, 94:2 (2011), 116–119; JETP Letters, 94:2 (2011), 112–115
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jetpl1961 https://www.mathnet.ru/rus/jetpl/v94/i2/p116
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 285 | PDF полного текста: | 75 | Список литературы: | 40 |
|