Ионная имплантация в металлы с одновременным электронным облучением

Обнаружено изменение распределений атомов азота и углерода, имплантированных с энергиями $10$ и $30$ кэВ, по глубине образцов из никеля и нержавеющей стали в результате сопутствующего облучения электронами с энергией $1$ кэВ. Вместо одного максимума распределения появляются два максимума, один ближе к поверхности, а второй на большей глубине, чем при имплантации без электронного облучения. Влияние электронного облучения объясняется образованием в системе атомов примеси зоны, находящейся выше уровня Ферми, в которую электроны металла переходят в результате возбуждения бомбардирующими электронами. Электроны в этой зоне имеют достаточно большое время жизни и увеличивают подвижность атомов примесей.