|
Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики, 2008, том 88, выпуск 2, страницы 103–106
(Mi jetpl168)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 17 научных статьях (всего в 17 статьях)
ПЛАЗМА, ГАЗЫ
Источник жесткого ультрафиолетового излучения на основе ЭЦР разряда
A. В. Водопьяновa, C. В. Голубевa, Д. А. Мансфельдa, А. Г. Николаевb, К. П. Савкинb, Н. Н. Салащенкоc, Н. И. Чхалоc, Г. Ю. Юшковb a Институт прикладной физики РАН, 603950 Нижний Новгород, Россия
b Институт сильноточной электроники Сибирского отд. РАН, 634055 Томск, Россия
c Институт физики микроструктур РАН, 603950 Нижний Новгород,
Россия
Аннотация:
Обсуждается источник жесткого (экстремального) ультрафиолетового излучения на основе разряда низкого давления, поддерживаемого в магнитной ловушке мощным электромагнитным излучением миллиметрового диапазона длин волн в условиях электронно-циклотронного резонанса. В таком разряде эффективно образуются и возбуждаются многозарядные ионы (использовались ионы олова, инжектируемые в ловушку из вакуумно-дугового разряда), линейчатое излучение которых лежит в требуемом диапазоне длин вон. В предварительных экспериментах мощность излучения с длиной волны 13,5 нм в полосе $\pm$ 1% достигала 50 Вт с к.п.д. преобразования поглощенного в плазме СВЧ излучения в жесткий ультрафиолет на уровне 1%.
Поступила в редакцию: 12.05.2008 Исправленный вариант: 16.06.2008
Образец цитирования:
A. В. Водопьянов, C. В. Голубев, Д. А. Мансфельд, А. Г. Николаев, К. П. Савкин, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, Г. Ю. Юшков, “Источник жесткого ультрафиолетового излучения на основе ЭЦР разряда”, Письма в ЖЭТФ, 88:2 (2008), 103–106; JETP Letters, 88:2 (2008), 95–98
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jetpl168 https://www.mathnet.ru/rus/jetpl/v88/i2/p103
|
|