Методы уменьшения времени сканирования СЗМ при сохранении качества изображения

Система управления сканирующего зондового микроскопа представляет собой систему автоматического регулирования с обратной связью. Увеличение быстродействия подобных систем регулирования возможно, во-первых, при использовании режекторных фильтров, настроенных на частоты резонанса Z-сканера, и, во-вторых, при использовании методов быстрого сканирования. В работе представлены измерения калибровочной решетки высотой 25 нм с использованием методов быстрого сканирования. До настоящего времени не было работ, в которых совместно использовался метод переменной скорости сканирования и динамического регулятора. Показано, что разработанные методы сканирования обеспечивают уменьшение времени сканирования более чем в два раза при прежнем качестве изображения.