О модели роста пленок в процессе импульсного лазерного осаждения на основе решения дифференциальных уравнений

Актуальность и цели. Одним из наиболее перспективных современных методов получения эпитаксиальных слоев является импульсное лазерное осаждение. Данный метод позволяет наносить на поверхность деталей обладающие специальными свойствами материалы (металлы, карбиды и т.п.), что позволяет восстанавливать геометрию, повышать поверхностную прочность и коррозионную устойчивость и т.д. В данной работе рассматривается аналитическая методика решения дифференциальных уравнений с частными производными. С помощью данной методики проводится анализ массо- и теплопереноса в реакционной камере во время роста эпитаксиального слоя с помощью импульсного лазерного осаждения. Исследуется изменение массо- и теплопереноса в зависимости от ряда параметров. Материалы и методы. Рассмотренная аналитическая методика анализа массо- и теплопереноса, позволяет учесть изменение параметров процессов одновременно в пространстве и во времени, а также нелинейность рассматриваемых процессов. Результаты и выводы. Рассмотренная в данной работе методика анализа массо- и теплопереноса позволяет проводить более адекватный прогноз роста эпитаксиального слоя с помощью импульсного лазерного осаждения по сравнению с аналогичными методиками.