|
Математика
О модели роста пленок в процессе импульсного лазерного осаждения на основе решения дифференциальных уравнений
Е. Л. Панкратовab a Нижегородский государственный университет имени Н. И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
b Нижегородский государственный технический университет имени Р. Е. Алексеева, Нижний Новгород, Россия
Аннотация:
Актуальность и цели. Одним из наиболее перспективных современных методов получения эпитаксиальных слоев является импульсное лазерное осаждение. Данный метод позволяет наносить на поверхность деталей обладающие специальными свойствами материалы (металлы, карбиды и т.п.), что позволяет восстанавливать геометрию, повышать поверхностную прочность и коррозионную устойчивость и т.д. В данной работе рассматривается аналитическая методика решения дифференциальных уравнений с частными производными. С помощью данной методики проводится анализ массо- и теплопереноса в реакционной камере во время роста эпитаксиального слоя с помощью импульсного лазерного осаждения. Исследуется изменение массо- и теплопереноса в зависимости от ряда параметров. Материалы и методы. Рассмотренная аналитическая методика анализа массо- и теплопереноса, позволяет учесть изменение параметров процессов одновременно в пространстве и во времени, а также нелинейность рассматриваемых процессов. Результаты и выводы. Рассмотренная в данной работе методика анализа массо- и теплопереноса позволяет проводить более адекватный прогноз роста эпитаксиального слоя с помощью импульсного лазерного осаждения по сравнению с аналогичными методиками.
Ключевые слова:
дифференциальные уравнения с частными производными, аналитическая методика решения, импульсное лазерное осаждение.
Образец цитирования:
Е. Л. Панкратов, “О модели роста пленок в процессе импульсного лазерного осаждения на основе решения дифференциальных уравнений”, Известия высших учебных заведений. Поволжский регион. Физико-математические науки, 2021, № 2, 35–44
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ivpnz27 https://www.mathnet.ru/rus/ivpnz/y2021/i2/p35
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 32 | PDF полного текста: | 15 | Список литературы: | 13 |
|