Влияние термообработки на адгезионную прочность металлического покрытия на поверхности металломатричного композита AlSiC

Актуальность и цели. Важным элементом конструкции силовых полупроводниковых приборов (СПП) является термокомпенсатор. В современных технологиях для изготовления термокомпенсатора используется металломатричный композиционный материал на основе микропорошка карбида кремния и алюминиевого матричного сплава (ММКМ AlSiC), на поверхность которого наносится многослойное металлическое покрытие. Надежность СПП в значительной степени определяется адгезионной прочностью данного покрытия. Целью работы является исследование влияния термообработки на адгезионную прочность многослойного металлического покрытия Al-Ti-Ni-Ag, нанесенного на поверхность ММКМ AlSiC. Материалы и методы. Исследуемые образцы ММКМ AlSiC изготавливались методом вакуумно-компрессионной пропитки. В качестве матрицы композита использовался алюминиевый сплав АК9, в качестве наполнителя - микропорошок карбида кремния с гранулометрическим составом F100+10% М10П. Металлическое покрытие со структурой слоев Al-Ti-Ni-Ag наносилось на поверхность исследуемых образцов ММКМ AlSiC методом магнетронного распыления. Адгезионная прочность соединения покрытия с поверхностью композита определялась методом отслаивания. Результаты. Измерена адгезионная прочность металлического покрытия в зависимости от продолжительности и температуры изотермического отжига в вакууме и атмосфере водорода. Выводы. Термообработка исследуемых образцов в вакууме или в атмосфере водорода продолжительностью более 30 мин при температуре 450$^{\circ}С$ приводит к возрастанию адгезионной прочности металлического покрытия примерно в 3 раза.