Влияние слоистой структуры электродов на характеристики устройств на поверхностных акустических волнах

На характеристики устройств на поверхностных акустических волнах (ПАВ) в СВЧ-диапазоне оказывают влияние не только толщина и упругие свойства тонкой алюминиевой плёнки электродов, но и свойства нанометрового адгезионного подслоя. Исследовано влияние толщины подслоя хрома и ванадия на термостабильность одноповоротных Y-срезов кварца для частот 1 и 2 ГГц, а также на коэффициент отражения ПАВ от краев электродов встречно-штыревого преобразователя, причем были найдены такие толщины алюминия и хрома в двухслойных электродах, при которых коэффициент отражения равен нулю.