Измерения наносмещений частотно-модулированным лазерным автодином

В работе представлен метод измерения наносмещений отражающей поверхности при частотной модуляции лазерного автодина по треугольному закону. Рассматривается случай учета изменения фазы во внешнем резонаторе лазерного автодина и спектрального представления автодинного сигнала. Показано, что на расстояниях от активной среды лазерного автодина до отражающей поверхности, на которых выполняется условие равенства целого количества полуволн длине внешнего резонатора как на нижней, так и верхней границах диапазона девиации длины волны лазерного диода, наблюдается линейная зависимость амплитуд спектральных составляющих от величины наносмещений поверхности. Измерения спектров автодинного сигнала проведены на лазерном диоде на квантоворазмерных структурах с дифракционно-ограниченной одиночной пространственной модой. Показано, что изменением величины девиации длины волны лазерного диода может быть достигнута 10 нм точность измерения смещения поверхности при измерении спектральных составляющих сигнала автодина с точностью 10%.