|
Физика
Применение тонкопленочных структур на основе аморфного кремния для измерения рH растворов
Д. М. Митин, Н. В. Волкова, С. В. Герман, А. В. Маркин, С. Б. Вениг, А. А. Сердобинцев Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н. Г. Чернышевского
Аннотация:
Показана возможность создания pH-сенсора на основе тонких плёнок аморфного кремния. Принцип работы датчика схож с механизмом действия ионоселективного полевого транзистора. Изменение pH исследуемого раствора приводит к изменению толщины обедненной области и, следовательно, проводимости структуры на основе пленки аморфного кремния.
Ключевые слова:
аморфный кремний, тонкие плёнки, pHсенсор, магнетронное распыление.
Образец цитирования:
Д. М. Митин, Н. В. Волкова, С. В. Герман, А. В. Маркин, С. Б. Вениг, А. А. Сердобинцев, “Применение тонкопленочных структур на основе аморфного кремния для измерения рH растворов”, Изв. Сарат. ун-та. Нов. cер. Сер. Физика, 16:1 (2016), 24–26
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/isuph256 https://www.mathnet.ru/rus/isuph/v16/i1/p24
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 55 | PDF полного текста: | 18 | Список литературы: | 25 |
|