Известия Саратовского университета. Новая серия. Серия: Физика
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Изв. Сарат. ун-та. Нов. cер. Сер. Физика:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Известия Саратовского университета. Новая серия. Серия: Физика, 2015, том 15, выпуск 2, страницы 18–31 (Mi isuph229)  
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)

Физика

Неравновесная СВЧ-плазма низкого давления в научных исследованиях и разработках микро- и наноэлектроники

Р. К. Яфаров

Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН
PDF полного текста (876 kB) Список цитирования (2)
Список литературы:
PDF
HTML
Аннотация: Рассмотрены достоинства и преимущества использования для реализации нанотехнологий высокоионизованной низкоэнергетичной СВЧ-плазмы низкого давления. Показано, что по своим функциональным возможностям одна установка на основе СВЧ-плазмы может заменить 4-5 установок с обычным высокочастотным возбуждением газового разряда.
Ключевые слова: вакуумно-плазменное технологическое оборудование, нанотехнологии, СВЧ-плазма низкого давления, поверхностное структурирование, кремний, СВЧ плазмохимическое травление, квантово- размерные системы.
Тип публикации: Статья
УДК: 533.9
Образец цитирования: Р. К. Яфаров, “Неравновесная СВЧ-плазма низкого давления в научных исследованиях и разработках микро- и наноэлектроники”, Изв. Сарат. ун-та. Нов. cер. Сер. Физика, 15:2 (2015), 18–31
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{Yaf15}
\by Р.~К.~Яфаров
\paper Неравновесная СВЧ-плазма низкого давления в научных исследованиях и разработках микро- и наноэлектроники
\jour Изв. Сарат. ун-та. Нов. cер. Сер. Физика
\yr 2015
\vol 15
\issue 2
\pages 18--31
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/isuph229}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/isuph229
  • https://www.mathnet.ru/rus/isuph/v15/i2/p18
    • Эта публикация цитируется в следующих 2 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Известия Саратовского университета. Новая серия. Серия: Физика
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:47
    PDF полного текста:46
    Список литературы:19
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024