|
Материалы Международного научного семинара
Формирование модифицированных материалов в потоках низкотемпературной плазмы
А. А. Сердобинцевa, С. Б. Венигa, В. А. Александровb, Д. М. Митинa, А. Г. Веселовb, О. А. Кирясоваb, В. И. Елмановb a Саратовский государственный университет
b Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН
Аннотация:
В работе приводятся результаты экспериментальных исследований, направленных на получение материалов с модифицированными свойствами. Разработанная методика синтеза в потоках низкотемпературной плазмы позволяет эффективно управлять параметрами плёночных материалов. На примере ZnO и Si показана возможность управления оптическими, морфологическими и электрофизическими свойствами плёночных материалов.
Ключевые слова:
модифицированные материалы, низкотемпературная плазма, магнетронное распыление.
Образец цитирования:
А. А. Сердобинцев, С. Б. Вениг, В. А. Александров, Д. М. Митин, А. Г. Веселов, О. А. Кирясова, В. И. Елманов, “Формирование модифицированных материалов в потоках низкотемпературной плазмы”, Изв. Сарат. ун-та. Нов. cер. Сер. Физика, 13:2 (2013), 47–50
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/isuph173 https://www.mathnet.ru/rus/isuph/v13/i2/p47
|
|