Анализ элекронно-микроскопических изображений с использованием спектральных характеристик

Предложены методы анализа и моделирования изображений наноструктур с использованием интегральных спектральных характеристик ортогональных преобразований изображений. Рассмотрены различные методы вычисления интегральных частотных (ИЧХ) и пространственных (ИПХ) характеристик по обобщенным спектрам. Для моделирования изображений распределение модулей амплитуд ортогонального преобразования модифицируется в соответствии с особенностями ИЧХ и ИПХ спектра преобразования и требуемого вида модифицированных интегральных спектральных характеристик. Демонстрируются методы моделирования изображений с заданной периодограммой, корреляционной функцией, фрактальным спектром, фрактальной ИЧХ, изотропной ИПХ. Разработанные методы, алгоритмы и программные средства позволяют проводить первичную обработку изображений, идентифицировать корреляционно-спектральные характеристики микроструктуры и устранять искажения, связанные со смазом, размытием и дефокусировкой.