Препринты Института прикладной математики им. М. В. Келдыша РАН
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Препринты ИПМ им. М. В. Келдыша:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Препринты Института прикладной математики им. М. В. Келдыша РАН, 2007, 092, 11 стр. (Mi ipmp547)  
Автоматизированный комплекс для измерения макронапряжений в кремниевых деталях

М. В. Меженный, В. А. Гребенников, Е. Б. Кульбацкий
PDF полного текста (215 kB)
Аннотация: В настоящей работе представлены: методика измерения макронапряжений поляризационно-оптическим методом с применением электрооптического модулятора–компенсатора; описание автоматизированного комплекса измерения напряжений в монокристаллических материалах прозрачных для ближнего инфракрасного излучения и примеры его использования для контроля микромеханических систем.
Тип публикации: Препринт
Образец цитирования: М. В. Меженный, В. А. Гребенников, Е. Б. Кульбацкий, “Автоматизированный комплекс для измерения макронапряжений в кремниевых деталях”, Препринты ИПМ им. М. В. Келдыша, 2007, 092, 11 с.
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{MezGreKul07}
\by М.~В.~Меженный, В.~А.~Гребенников, Е.~Б.~Кульбацкий
\paper Автоматизированный комплекс для измерения макронапряжений в кремниевых деталях
\jour Препринты ИПМ им.~М.~В.~Келдыша
\yr 2007
\papernumber 092
\totalpages 11
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ipmp547}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ipmp547
  • https://www.mathnet.ru/rus/ipmp/y2007/p92
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Препринты Института прикладной математики им. М. В. Келдыша РАН
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024