|
Численное моделирование процесса выращивания монокристаллов методом Чохральского в квазистационарном приближении
А. О. Гусев, О. С. Мажорова
Аннотация:
В работе изучается квазистационарная математическая модель процесса выращивания монокристаллов методом Чохральского с жидкостной герметизацией расплава, учитывающая теплоперенос в кристалле, расплаве и флюсе, теплообмен излучением между нагревателем и содержимым тигля, формирование фронта кристаллизации и выделение теплоты на нем, образование мениска на границе расплав/флюс. В рамках квазистационарного приближения процесс кристаллизации рассматривается как серия стационарных состояний, однозначно определяющихся внешним температурным режимом, скоростью протяжки и объемом расплава. Для решения задачи с внутренними подвижными границами применен метод выпрямления фронта. Численно изучено влияние скорости протяжки и температуры нагревателя на радиус выращенного кристалла.
Ключевые слова:
фазовый переход, численное моделирование роста кристаллов, метод Чохральского с жидкостной герметизацией расплава.
Образец цитирования:
А. О. Гусев, О. С. Мажорова, “Численное моделирование процесса выращивания монокристаллов методом Чохральского в квазистационарном приближении”, Препринты ИПМ им. М. В. Келдыша, 2023, 059, 20 с.
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ipmp3191 https://www.mathnet.ru/rus/ipmp/y2023/p59
|
|