|
Препринты Института прикладной математики им. М. В. Келдыша РАН, 2002, 048
(Mi ipmp1022)
|
|
|
|
Структурная диагностика поверхностей с использованием вейвлетов
В. Д. Левченко, А. М. Скобочкин
Аннотация:
В данной работе представлена методика структурной диагностики поверхностей с развитым рельефом, основанная на использовании корреляционного и вейвлет анализов. Рассмотрены 4 образца, полученные методом ионной имплантации ионов кобальта Co$^+$ в приповерхностный слой кремния при различных дозах облучения. К ним применена разработанная методика. На основе полученных результатов сделаны выводы о регулярности характерных структур для каждого образца.
Образец цитирования:
В. Д. Левченко, А. М. Скобочкин, “Структурная диагностика поверхностей с использованием вейвлетов”, Препринты ИПМ им. М. В. Келдыша, 2002, 048
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ipmp1022 https://www.mathnet.ru/rus/ipmp/y2002/p48
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 61 | PDF полного текста: | 4 |
|