|
Физика твердого тела, 2016, том 58, выпуск 6, страницы 1198–1205
(Mi ftt9965)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Физика поверхности, тонкие пленки
Газовыделение при термообработке пленок Pb(Ti$_{0.48}$Zr$_{0.52}$)O$_{x}$, полученных распылением
А. Г. Знаменскийa, А. М. Ионовb, В. А. Марченкоa a Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Черноголовка, Россия
b Институт физики твердого тела Российской академии наук, г. Черноголовка Московской обл.
Аннотация:
Методами термодесорбции, электронной и оптической микроскопии выявлены условия (режимы осаждения и термообработки) образования газовых пузырьков в сегнетоэлектрических пленках Pb(Ti$_{1-y}$Zr$_{y}$)O$_{3}$. Предложен механизм образования пузырьков, заключающийся в том, что при относительно низких температурах свинец способен образовывать оксиды с большим содержанием кислорода (типа PbO$_{2}$), распадающиеся с выделением кислорода до низшего оксида типа PbO при последующем нагреве. Развитые представления позволили разработать методику изготовления пленок Pb(Ti$_{1-y}$Zr$_{y}$)O$_{3}$ со сниженной на порядок плотностью сквозных дефектов.
Поступила в редакцию: 21.07.2015 Исправленный вариант: 02.09.2015
Образец цитирования:
А. Г. Знаменский, А. М. Ионов, В. А. Марченко, “Газовыделение при термообработке пленок Pb(Ti$_{0.48}$Zr$_{0.52}$)O$_{x}$, полученных распылением”, Физика твердого тела, 58:6 (2016), 1198–1205; Phys. Solid State, 58:6 (2016), 1239–1246
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt9965 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v58/i6/p1198
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 43 | PDF полного текста: | 11 |
|