Физика твердого тела
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Физика твердого тела:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Физика твердого тела, 2016, том 58, выпуск 6, страницы 1198–1205 (Mi ftt9965)  

Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Физика поверхности, тонкие пленки

Газовыделение при термообработке пленок Pb(Ti$_{0.48}$Zr$_{0.52}$)O$_{x}$, полученных распылением

А. Г. Знаменскийa, А. М. Ионовb, В. А. Марченкоa

a Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Черноголовка, Россия
b Институт физики твердого тела Российской академии наук, г. Черноголовка Московской обл.
Аннотация: Методами термодесорбции, электронной и оптической микроскопии выявлены условия (режимы осаждения и термообработки) образования газовых пузырьков в сегнетоэлектрических пленках Pb(Ti$_{1-y}$Zr$_{y}$)O$_{3}$. Предложен механизм образования пузырьков, заключающийся в том, что при относительно низких температурах свинец способен образовывать оксиды с большим содержанием кислорода (типа PbO$_{2}$), распадающиеся с выделением кислорода до низшего оксида типа PbO при последующем нагреве. Развитые представления позволили разработать методику изготовления пленок Pb(Ti$_{1-y}$Zr$_{y}$)O$_{3}$ со сниженной на порядок плотностью сквозных дефектов.
Поступила в редакцию: 21.07.2015
Исправленный вариант: 02.09.2015
Англоязычная версия:
Physics of the Solid State, 2016, Volume 58, Issue 6, Pages 1239–1246
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063783416060354
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. Г. Знаменский, А. М. Ионов, В. А. Марченко, “Газовыделение при термообработке пленок Pb(Ti$_{0.48}$Zr$_{0.52}$)O$_{x}$, полученных распылением”, Физика твердого тела, 58:6 (2016), 1198–1205; Phys. Solid State, 58:6 (2016), 1239–1246
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ZnaIonMar16}
\by А.~Г.~Знаменский, А.~М.~Ионов, В.~А.~Марченко
\paper Газовыделение при термообработке пленок Pb(Ti$_{0.48}$Zr$_{0.52}$)O$_{x}$, полученных распылением
\jour Физика твердого тела
\yr 2016
\vol 58
\issue 6
\pages 1198--1205
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ftt9965}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=27368659}
\transl
\jour Phys. Solid State
\yr 2016
\vol 58
\issue 6
\pages 1239--1246
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063783416060354}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt9965
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v58/i6/p1198
  • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Физика твердого тела Физика твердого тела
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:43
    PDF полного текста:11
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024