|
Физика твердого тела, 2016, том 58, выпуск 11, страницы 2242–2247
(Mi ftt9796)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
Сегнетоэлектричество
Влияние высокотемпературного отжига на ориентацию вектора униполярности в тонких пленках цирконата-титаната свинца
А. Г. Канарейкинa, Е. Ю. Каптеловa, С. В. Сенкевичa, И. П. Пронинa, А. Ю. Сергиенкоb, О. Н. Сергееваcd a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Филиал ФГБНУ "Институт управления образованием РАО", г. Санкт-Петербург
c Тверской государственный университет
d МИРЭА — Российский технологический университет, г. Москва
Аннотация:
Рассматриваются причины изменения ориентации вектора естественной униполярности в результате нагревания до температуры Кюри тонкопленочного конденсатора Pt/PZT/Pt (PZT – цирконат-титанат свинца), сформированного на подложке TiO$_{2}$/SiO$_{2}$/Si. Тонкие слои PZT, содержащие незначительный избыток оксида свинца, сформированы ex situ методом высокочастотного магнетронного распыления при вариации температуры отжига (кристаллизации фазы перовскита) в диапазоне 580–650$^\circ$C. Предполагается, что реориентация вектора униполярности в слое PZT вызвана сменой механизма кристаллизации фазы перовскита с ростом температуры отжига.
Поступила в редакцию: 11.05.2016
Образец цитирования:
А. Г. Канарейкин, Е. Ю. Каптелов, С. В. Сенкевич, И. П. Пронин, А. Ю. Сергиенко, О. Н. Сергеева, “Влияние высокотемпературного отжига на ориентацию вектора униполярности в тонких пленках цирконата-титаната свинца”, Физика твердого тела, 58:11 (2016), 2242–2247; Phys. Solid State, 58:11 (2016), 2325–2330
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt9796 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v58/i11/p2242
|
|