Физика твердого тела
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Физика твердого тела:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Физика твердого тела, 2016, том 58, выпуск 11, страницы 2203–2207 (Mi ftt9789)  

Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)

Полупроводники

Особенности формирования эпитаксиальных слоев InAsSbP на подложке InAs методом газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений

К. Д. Моисеевa, В. В. Романовa, Ю. А. Кудрявцевb

a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Отделение твердотельной электроники Центра исследований и передового обучения Национального политехнического института, Мехико, Мексика
Аннотация: Эпитаксиальные слои в системе твердых растворов InAs$_{1-x-y}$Sb$_{y}$P$_{x}$ в диапазоне составов 0 $<x<$ 0.72 получены на подложке InAs(001) методом газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений (МОГФЭ). Послойный анализ полученных структур с помощью метода масс-спектрометрии вторичных ионов показал градиентное изменение состава вдоль направления наращивания. Резкое изменение состава на гетерогранице слой/подложка наблюдалось для четверных твердых растворов InAsSbP благодаря присутствию радикалов соединений мышьяка в газовой фазе. При эпитаксиальном наращивании на подложку InAs в системе твердых растворов InAsSbP методом МОГФЭ уменьшение содержания мышьяка в твердой фазе менее $(1-x-y)<$ 0.3 приводило к подавлению градиентности осаждаемого слоя, а также и подавлению колебаний состава в начальном переходном слое.
Поступила в редакцию: 18.05.2016
Англоязычная версия:
Physics of the Solid State, 2016, Volume 58, Issue 11, Pages 2285–2289
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063783416110251
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: К. Д. Моисеев, В. В. Романов, Ю. А. Кудрявцев, “Особенности формирования эпитаксиальных слоев InAsSbP на подложке InAs методом газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений”, Физика твердого тела, 58:11 (2016), 2203–2207; Phys. Solid State, 58:11 (2016), 2285–2289
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{MoiRomKud16}
\by К.~Д.~Моисеев, В.~В.~Романов, Ю.~А.~Кудрявцев
\paper Особенности формирования эпитаксиальных слоев InAsSbP на подложке InAs методом газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений
\jour Физика твердого тела
\yr 2016
\vol 58
\issue 11
\pages 2203--2207
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ftt9789}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=27368826}
\transl
\jour Phys. Solid State
\yr 2016
\vol 58
\issue 11
\pages 2285--2289
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063783416110251}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt9789
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v58/i11/p2203
  • Эта публикация цитируется в следующих 5 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Физика твердого тела Физика твердого тела
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024