Аннотация:
Эпитаксиальные слои в системе твердых растворов InAs1−x−ySbyPx в диапазоне составов 0 <x< 0.72 получены на подложке InAs(001) методом газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений (МОГФЭ). Послойный анализ полученных структур с помощью метода масс-спектрометрии вторичных ионов показал градиентное изменение состава вдоль направления наращивания. Резкое изменение состава на гетерогранице слой/подложка наблюдалось для четверных твердых растворов InAsSbP благодаря присутствию радикалов соединений мышьяка в газовой фазе. При эпитаксиальном наращивании на подложку InAs в системе твердых растворов InAsSbP методом МОГФЭ уменьшение содержания мышьяка в твердой фазе менее (1−x−y)< 0.3 приводило к подавлению градиентности осаждаемого слоя, а также и подавлению колебаний состава в начальном переходном слое.
Образец цитирования:
К. Д. Моисеев, В. В. Романов, Ю. А. Кудрявцев, “Особенности формирования эпитаксиальных слоев InAsSbP на подложке InAs методом газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений”, Физика твердого тела, 58:11 (2016), 2203–2207; Phys. Solid State, 58:11 (2016), 2285–2289
\RBibitem{MoiRomKud16}
\by К.~Д.~Моисеев, В.~В.~Романов, Ю.~А.~Кудрявцев
\paper Особенности формирования эпитаксиальных слоев InAsSbP на подложке InAs методом газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений
\jour Физика твердого тела
\yr 2016
\vol 58
\issue 11
\pages 2203--2207
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ftt9789}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=27368826}
\transl
\jour Phys. Solid State
\yr 2016
\vol 58
\issue 11
\pages 2285--2289
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063783416110251}
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt9789
https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v58/i11/p2203
Эта публикация цитируется в следующих 5 статьяx:
Tristan Smołka, Marcin Motyka, Vyacheslav Vital'evich Romanov, Konstantin Dmitrievich Moiseev, “Photoluminescence Spectroscopy of the InAsSb-Based p-i-n Heterostructure”, Materials, 15:4 (2022), 1419
Marcin Kurka, Mateusz Dyksik, Weronika Golletz, Maksymilian Środa, Vyacheslav Vital'evich Romanov, Konstantin Dmitrievich Moiseev, Marcin Motyka, “Features of carrier confinement in InAsSb(P) alloys and quantum wells for room-temperature operating mid-infrared emitters”, Appl. Phys. Express, 12:11 (2019), 115504
В. В. Романов, Э. В. Иванов, К. Д. Моисеев, “Узкозонные гетероструктуры InAs$_{1-y}$Sb$_{y}$/InAsSbP ($y$ = 0.09–0.16) для спектрального диапазона 4–6 $\mu$m, полученные методом МОГФЭ”, Физика твердого тела, 61:10 (2019), 1746–1753; V. V. Romanov, È. V. Ivanov, K. D. Moiseev, “InAs$_{1-y}$Sb$_{y}$/InAsSbP narrow-gap heterostructures ($y$ = 0.09–0.16) grown by metalorganic vapor phase epitaxy for the spectral range of 4–6 $\mu$m”, Phys. Solid State, 61:10 (2019), 1699–1706
В. В. Романов, Э. В. Иванов, К. Д. Моисеев, “Перестройка спектров электролюминесценции в гетероструктурах II типа $n$-InAs/$n$-InAsSbP”, Физика твердого тела, 60:3 (2018), 585–590; V. V. Romanov, È. V. Ivanov, K. D. Moiseev, “Rearrangement of electroluminescence spectra in type-II $n$-InAs/$n$-InAsSbP heterostructures”, Phys. Solid State, 60:3 (2018), 592–597
В. И. Васильев, Г. С. Гагис, Р. В. Левин, А. Е. Маричев, Б. В. Пушный, М. П. Щеглов, В. И. Кучинский, Б. Я. Бер, Д. Ю. Казанцев, А. Н. Горохов, Т. Б. Попова, “Исследование градиента состава слоев GaInAsP, полученных на InP методом газофазной эпитаксии”, Письма в ЖТФ, 44:24 (2018), 17–24; V. I. Vasil'ev, G. S. Gagis, R. V. Levin, A. E. Marichev, B. V. Pushnii, M. P. Scheglov, V. I. Kuchinskii, B. Ya. Ber, D. Yu. Kazantsev, A. N. Gorokhov, T. B. Popova, “A study of the composition gradient of GaInAsP layers formed on InP by vapor-phase epitaxy”, Tech. Phys. Lett., 44:12 (2018), 1127–1129