Н. А. Соболев, А. Е. Калядин, П. Н. Аруев, В. В. Забродский, Е. И. Шек, К. Ф. Штельмах, К. В. Карабешкин, “Влияние дозы имплантации и длительности отжига на люминесцентные свойства (113) дефектов в Si, имплантированном ионами кислорода”, Физика твердого тела, 58:12 (2016), 2411–2414; Phys. Solid State, 58:12 (2016), 2499

Loading [MathJax]/jax/output/SVG/config.js

Физика твердого тела

RUS ENG

ЖУРНАЛЫ ПЕРСОНАЛИИ ОРГАНИЗАЦИИ КОНФЕРЕНЦИИ СЕМИНАРЫ ВИДЕОТЕКА ПАКЕТ AMSBIB

JavaScript is disabled in your browser. Please switch it on to enable full functionality of the website

	Общая информация
	Последний выпуск
	Архив
	Правила для авторов

	Поиск публикаций
	Поиск ссылок

	RSS
	Последний выпуск
	Текущие выпуски
	Архивные выпуски
	Что такое RSS

Физика твердого тела:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
	Найти

Персональный вход:
Логин:
Пароль:
	Запомнить пароль
	Войти
	Забыли пароль?
	Регистрация

Физика твердого тела, 2016, том 58, выпуск 12, страницы 2411–2414 (Mi ftt9751)

Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)

Примесные центры

Влияние дозы имплантации и длительности отжига на люминесцентные свойства (113) дефектов в Si, имплантированном ионами кислорода

Н. А. Соболев^a, А. Е. Калядин^a, П. Н. Аруев^a, В. В. Забродский^a, Е. И. Шек^a, К. Ф. Штельмах^ba, К. В. Карабешкин^a

^a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
^b Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого

PDF полного текста (265 kB) Список цитирования (4)

Аннотация: Исследованы фотолюминесцентные свойства (113) дефектов, образующихся в Si-структуре после имплантации ионов кислорода с энергией 350 keV и дозами 1.7 $\cdot$ 10$^{13}$–1.7 $\cdot$ 10$^{15}$ cm$^{-2}$ и последующего отжига при 700$^\circ$C в течение 0.5–2 h в хлорсодержащей атмосфере. Независимо от дозы имплантации и времени отжига в спектрах фотолюминесценции доминирует линия с длиной волны 1.37 $\mu$m, принадлежащая (113) дефекту. Зависимости интенсивности линии от дозы имплантации и длительности отжига характеризуются кривыми с максимумами. С ростом температуры измерения в диапазоне 64–120 K интенсивность линии монотонно уменьшается.

Поступила в редакцию: 18.05.2016
Исправленный вариант: 14.06.2016

Англоязычная версия:
Physics of the Solid State, 2016, Volume 58, Issue 12, Pages 2499–2502
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063783416120283

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья

Образец цитирования: Н. А. Соболев, А. Е. Калядин, П. Н. Аруев, В. В. Забродский, Е. И. Шек, К. Ф. Штельмах, К. В. Карабешкин, “Влияние дозы имплантации и длительности отжига на люминесцентные свойства (113) дефектов в Si, имплантированном ионами кислорода”, Физика твердого тела, 58:12 (2016), 2411–2414; Phys. Solid State, 58:12 (2016), 2499–2502

Цитирование в формате AMSBIB

\RBibitem{SobKalAru16}

\by Н.~А.~Соболев, А.~Е.~Калядин, П.~Н.~Аруев, В.~В.~Забродский, Е.~И.~Шек, К.~Ф.~Штельмах, К.~В.~Карабешкин

\paper Влияние дозы имплантации и длительности отжига на люминесцентные свойства (113) дефектов в Si, имплантированном ионами кислорода

\jour Физика твердого тела

\yr 2016

\vol 58

\issue 12

\pages 2411--2414

\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ftt9751}

\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=27368862}

\transl

\jour Phys. Solid State

\yr 2016

\vol 58

\issue 12

\pages 2499--2502

\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063783416120283}

Образцы ссылок на эту страницу:

https://www.mathnet.ru/rus/ftt9751

https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v58/i12/p2411

Эта публикация цитируется в следующих 4 статьяx:

Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles

Статистика просмотров:
Страница аннотации:	43
PDF полного текста:	17

Обратная связь:

Пользовательское соглашение

Регистрация посетителей портала

Логотипы