Аннотация:
Проведено сопоставление структуры и кинетики электронно-лучевой кристаллизации аморфных пленок ZrO2, полученных с помощью ионно-плазменного и лазерного напыления. Исследования выполнены методами электронографии и просвечивающей электронной микроскопии со съемками видео-фильмов in situ. Воздействие на аморфную пленку электронного луча в вакууме сопровождается образованием микрокристаллов диоксида циркония с решеткой ГЦК. При лазерном испарении плотность центров кристаллизации β∼ 109 cm−2, а характерная единица длины D0∼ 0.48 μm. При ионно-плазменном испарении β∼ 1010 cm−2, а D0∼ 0.06 μm. Анализ кинетических кривых кристаллизации аморфных пленок проведен на основе β-варианта модели Колмогорова.
Образец цитирования:
А. Г. Багмут, В. М. Береснев, “Кинетика электронно-лучевой кристаллизации аморфных пленок ZrO2, полученных ионно-плазменным и лазерным напылением”, Физика твердого тела, 59:1 (2017), 144–148; Phys. Solid State, 59:1 (2017), 151–155
“Crystallization of amorphous Sb<sub>2</sub>Se<sub>3</sub> films according to TEM with in situ video recording”, Funct.Mater., 31:1 (2024)
Aleksandr Bagmut, Ivan Bagmut, “Layer polymorphous crystallizations of amorphous films: structural and kinetic aspects”, Molecular Crystals and Liquid Crystals, 750:1 (2023), 1
A. I. Sidorov, E. Ya. Leks, O. A. Podsvirov, A. Yu. Vinogradov, “Crystallization and Silicon Carbide Formation in Two-Layer Amorphous Silicon–Carbon Films during Electron Irradiation”, Tech. Phys., 68:S1 (2023), S115
Aleksandr G Bagmut, Ivan A Bagmut, “Kinetics of electron beam crystallization of amorphous films of Yb2O2S”, Journal of Non-Crystalline Solids, 547 (2020), 120286
A.I. Sidorov, N.S. Zaitsev, O.A. Podsvirov, “Structural changes in thin amorphous silicon film during electron irradiation”, Physica B: Condensed Matter, 598 (2020), 412439
O.G. Bagmut, “Layer, island and dendrite crystallizations of amorphous films as analogs of Frank-van der Merwe, Volmer-Weber and Stranski-Krastanov growth modes”, Funct.Mater., 26:1 (2019), 6
Aleksandr Bagmut, Ivan Bagmut, “Modes and kinetics of crystals growth in amorphous films of oxides”, Molecular Crystals and Liquid Crystals, 673:1 (2018), 120
H. Yuan, Igor B. Gornushkin, Ardian B. Gojani, X. H. Wang, M. Z. Rong, “Laser-induced plasma imaging for low-pressure detection”, Opt. Express, 26:12 (2018), 15962
Aleksandr Bagmut, “Morphology and kinetics of crystals growth in amorphous films of Cr2O3, deposited by laser ablation”, Journal of Crystal Growth, 492 (2018), 92
A.G. Bagmut, “Kinetics of crystals growth under electron-beam crystallization of amorphous films of hafnium dioxide”, Funct.Mater., 25:3 (2018), 525
А. Г. Багмут, “Электронно-микроскопическое исследование кинетики слоевой и островковой кристаллизации аморфных пленок V2O3, осажденных импульсным лазерным напылением”, Физика твердого тела, 59:6 (2017), 1201–1207; A. G. Bagmut, “Electron microscopic investigation of the kinetics of the layer and island crystallization of amorphous V2O3 films deposited by pulsed laser evaporation”, Phys. Solid State, 59:6 (2017), 1225–1232