|
Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)
Физика поверхности, тонкие пленки
Эпитаксиальный рост пленок теллурида кадмия на кремнии с буферным слоем карбида кремния
В. В. Антиповab, С. А. Кукушкинacd, А. В. Осиповad a Институт проблем машиноведения РАН, г. Санкт-Петербург
b Санкт-Петербургский государственный технологический институт (технический университет)
c Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
d Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
Аннотация:
Впервые выращен эпитаксиальный теллурид кадмия толщиной 1–3 $\mu$m на кремнии с буферным слоем карбида кремния методом открытого термического испарения и конденсации в вакууме. Оптимальная температура подложки составила 500$^\circ$C при температуре испарителя 580$^\circ$C, время роста 4 s. Для более качественного роста теллурида кадмия на поверхности кремния предварительно был синтезирован методом топохимического замещения атомов высококачественный буферный слой карбида кремния толщиной $\sim$100 nm. Эллипсометрический, рамановский, рентгеновский и электронографический анализ показали высокое структурное совершенство слоя CdTe и отсутствие поликристаллической фазы.
Поступила в редакцию: 11.07.2016
Образец цитирования:
В. В. Антипов, С. А. Кукушкин, А. В. Осипов, “Эпитаксиальный рост пленок теллурида кадмия на кремнии с буферным слоем карбида кремния”, Физика твердого тела, 59:2 (2017), 385–388; Phys. Solid State, 59:2 (2017), 399–402
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt9692 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v59/i2/p385
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 51 | PDF полного текста: | 17 |
|