Получение наноостровковых пленок Sn, Al, Cu и исследование их электропроводящих свойств

Представлены результаты получения наноостровковых пленок Sn, Al, Cu на диэлектрических подложках и исследования их морфологических и электропроводящих свойств. Показано, что исходная эффективная толщина плeнки существенно влияет на морфологические параметры наноостровков. При исследовании проводимости плeнок на этапе конденсации выявлен эффект спада проводимости после прекращения осаждения, который связан с процессами наноструктурирования. При исследовании температурных зависимостей проводимости плeнок обнаружены три области изменения электропроводности: низкотемпературная область активационного роста, область спада при наноструктурировании и высокотемпературная область активационного роста.