|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
Системы низкой размерности
Химический и фазовый состав многослойных нанопериодических структур $a$-SiO$_{x}$/ZrO$_{2}$, подвергнутых высокотемпературному отжигу
А. В. Боряков, С. И. Суродин, Д. Е. Николичев, А. В. Ершов Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
Аннотация:
Методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии с послойным травлением выполнен анализ химического и фазового состава многослойных нанопериодических структур SiO$_{x}$/ZrO$_{2}$, полученных испарением в вакууме из раздельных источников и подвергнутых высокотемпературному отжигу. Установлено, что при используемых условиях напыления слои субоксида кремния имели коэффициент стехиометричности $x\sim$1.8, а цирконийсодержащие слои представляли собой стехиометрический диоксид циркония. С помощью рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии обнаружено, что отжиг многослойных структур при 1000$^\circ$C приводит к взаимодиффузии компонентов и химическому взаимодействию ZrO$_{2}$ и SiO$_{x}$ c образованием преимущественно силиката циркония на гетерограницах структур. Слои SiO$_{x}$ отожженных наноструктур содержали $\sim$5 at.% элементарного кремния как следствие фазового разделения и формирования нанокристаллов кремния малого размера.
Поступила в редакцию: 10.10.2016
Образец цитирования:
А. В. Боряков, С. И. Суродин, Д. Е. Николичев, А. В. Ершов, “Химический и фазовый состав многослойных нанопериодических структур $a$-SiO$_{x}$/ZrO$_{2}$, подвергнутых высокотемпературному отжигу”, Физика твердого тела, 59:6 (2017), 1183–1191; Phys. Solid State, 59:6 (2017), 1206–1214
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt9558 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v59/i6/p1183
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 28 | PDF полного текста: | 10 |
|