|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
XX Международный симпозиум ''Нанофизика и наноэлектроника'', Н. Новгород, 13-16 марта 2017 г.
Сверхпроводимость
Новый подход к формированию топологии планарных структур на основе высокотемпературного сверхпроводника YBCO
Д. В. Мастеров, С. А. Павлов, А. Е. Парафин Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
Аннотация:
Представлена новая технология формирования планарных сверхпроводниковых структур на основе пленок YBCO с металлическими контактами, полностью исключающая процессы травления. Нужная топология сверхпроводящих элементов из пленки YBCO создается предложенным методом “задающей маски”. Омические контакты к сверхпроводящей структуре изготавливаются методом взрывной фотолитографии. Для исследования возможностей данной технологии были проведены измерения сверхпроводящих мостиков шириной 3, 10 и 50 $\mu$m и тестовых структур для измерения контактного сопротивления.
Образец цитирования:
Д. В. Мастеров, С. А. Павлов, А. Е. Парафин, “Новый подход к формированию топологии планарных структур на основе высокотемпературного сверхпроводника YBCO”, Физика твердого тела, 59:11 (2017), 2113–2116; Phys. Solid State, 59:11 (2017), 2133–2136
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt9386 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v59/i11/p2113
|
|