|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
Сегнетоэлектричество
Начальные стадии роста пленок титаната бария-стронция на подложке полуизолирующего карбида кремния
А. В. Тумаркинa, И. Т. Серенковb, В. И. Сахаровb, С. В. Разумовa, А. А. Одинецa, М. В. Злыгостовa, Е. Н. Сапегоa, В. В. Афросимовb a Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ»
b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
Аннотация:
Впервые исследованы начальные стадии роста сегнетоэлектрических пленок титаната бария-стронция на подложках монокристаллического карбида кремния. Выбор подложки, обладающей высокой теплопроводностью, обусловлен возможностью применения данных структур в мощных сверхвысокочастотных устройствах. Определены диапазоны температур, разделяющие механизм поверхностной диффузии осаждаемых атомов от диффузии через газовую фазу при росте многокомпонентных пленок. Исследования показали, что массоперенос посредством поверхностной диффузии приводит к формированию зародышей малой высоты, покрывающих большую часть подложки, тогда как массоперенос атомов через газовую фазу приводит к образованию “столбчатой” островковой структуры с малым процентом покрытия подложки и большей высотой островков.
Поступила в редакцию: 17.05.2017 Исправленный вариант: 29.05.2017
Образец цитирования:
А. В. Тумаркин, И. Т. Серенков, В. И. Сахаров, С. В. Разумов, А. А. Одинец, М. В. Злыгостов, Е. Н. Сапего, В. В. Афросимов, “Начальные стадии роста пленок титаната бария-стронция на подложке полуизолирующего карбида кремния”, Физика твердого тела, 59:12 (2017), 2352–2357; Phys. Solid State, 59:12 (2017), 2374–2380
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt9357 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v59/i12/p2352
|
|