|
Полупроводники
Взаимодействие атомов сурьмы с микропорами в кремнии
В. Б. Оджаевa, А. Н. Петлицкийb, В. И. Плебановичc, П. К. Садовскийa, М. И. Тарасикa, А. Р. Челядинскийa a Белорусский государственный университет, г. Минск
b ОАО "ИНТЕГРАЛ", Минск, Беларусь
c ОАО "Планар", г. Минск, Беларусь
Аннотация:
Исследовано взаимодействие атомов Sb с микропорами геттерного слоя в кремнии. Геттерный слой создавался путем имплантации в кремний ионов Sb$^{+}$ и последующих термообработок. Обнаружено, что атомы сурьмы, расположенные в окрестности микропор, захватываются на микропоры в процессе геттерирующего отжига и теряют электрическую активность. Энергия активации процесса захвата сурьмы на поры ниже энергии активации диффузии сурьмы в кремнии. Это объясняется влиянием на процесс диффузии полей упругих деформаций вокруг микропустот.
Поступила в редакцию: 11.04.2017
Образец цитирования:
В. Б. Оджаев, А. Н. Петлицкий, В. И. Плебанович, П. К. Садовский, М. И. Тарасик, А. Р. Челядинский, “Взаимодействие атомов сурьмы с микропорами в кремнии”, Физика твердого тела, 60:1 (2018), 22–24; Phys. Solid State, 60:1 (2018), 20–22
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt9322 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v60/i1/p22
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 43 | PDF полного текста: | 14 |
|