Физика твердого тела
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика твердого тела:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика твердого тела, 2018, том 60, выпуск 1, страницы 22–24
DOI: https://doi.org/10.21883/FTT.2018.01.45283.123 (Mi ftt9322) 		 
Полупроводники

Взаимодействие атомов сурьмы с микропорами в кремнии

В. Б. Оджаевa, А. Н. Петлицкийb, В. И. Плебановичc, П. К. Садовскийa, М. И. Тарасикa, А. Р. Челядинскийa

a Белорусский государственный университет, г. Минск
b ОАО "ИНТЕГРАЛ", Минск, Беларусь
c ОАО "Планар", г. Минск, Беларусь
PDF полного текста (224 kB)
DOI: https://doi.org/10.21883/FTT.2018.01.45283.123
Аннотация: Исследовано взаимодействие атомов Sb с микропорами геттерного слоя в кремнии. Геттерный слой создавался путем имплантации в кремний ионов Sb$^{+}$ и последующих термообработок. Обнаружено, что атомы сурьмы, расположенные в окрестности микропор, захватываются на микропоры в процессе геттерирующего отжига и теряют электрическую активность. Энергия активации процесса захвата сурьмы на поры ниже энергии активации диффузии сурьмы в кремнии. Это объясняется влиянием на процесс диффузии полей упругих деформаций вокруг микропустот.
Поступила в редакцию: 11.04.2017
Англоязычная версия:
Physics of the Solid State, 2018, Volume 60, Issue 1, Pages 20–22
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063783418010158
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. Б. Оджаев, А. Н. Петлицкий, В. И. Плебанович, П. К. Садовский, М. И. Тарасик, А. Р. Челядинский, “Взаимодействие атомов сурьмы с микропорами в кремнии”, Физика твердого тела, 60:1 (2018), 22–24; Phys. Solid State, 60:1 (2018), 20–22
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{OdzPyaPle18}
\by В.~Б.~Оджаев, А.~Н.~Петлицкий, В.~И.~Плебанович, П.~К.~Садовский, М.~И.~Тарасик, А.~Р.~Челядинский
\paper Взаимодействие атомов сурьмы с микропорами в кремнии
\jour Физика твердого тела
\yr 2018
\vol 60
\issue 1
\pages 22--24
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ftt9322}
\crossref{https://doi.org/10.21883/FTT.2018.01.45283.123}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=32737370}
\transl
\jour Phys. Solid State
\yr 2018
\vol 60
\issue 1
\pages 20--22
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063783418010158}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt9322
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v60/i1/p22
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика твердого тела Физика твердого тела
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024