Влияние кристаллической структуры на электрические свойства тонкопленочных PZT структур

В работе предложен и реализован новый метод двустадийной кристаллизации пленок цирконата-титаната свинца (PZT) с использованием затравочного подслоя с низким содержанием избыточного свинца. Из растворов с избытком свинца 0–5 wt% формируют затравочный слой с сильной текстурой зерен перовскита Pe (111), быстрый рост которых обеспечивается нанесением основной пленки из растворов с высоким содержанием свинца. В результате в пленках формируется сильная Pe (111) текстура с полным подавлением ориентации Pe (100). Анализ вольт-амперных зависимостей переходных токов и распределений локальной проводимости, измеренных методом контактной АСМ, выявил два различных механизма протекания токов, определяемыx ловушками в объеме и на границах раздела перовскитных зерен.