Структура и свойства пленок SiO$_{x}$, полученных химическим травлением лент аморфного сплава

Исследовано строение и физические свойства аморфных пленок SiO$_{x}$, полученных химическим травлением аморфного ленточного сплава на основе железа. Нейтронная дифракция, а также атомно-силовая и электронная микроскопия показали, что полученные визуально прозрачные пленки имеют аморфную структуру, обладают диэлектрическими свойствами, их морфология схожа с морфологией опалов. Образцы до и после их термической обработки были исследованы методами дифференциально-сканирующей калориметрии, рамановской и ИК-спектроскопии. Установлено, что отжиг пленок в воздушной среде при температуре 1273 K приводит к изменению их химического состава: образуется аморфное соединение SiO$_{2}$ с включениями нанокристаллов SiO$_{2}$ (кристобалит).