Физика твердого тела
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика твердого тела:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика твердого тела, 2018, том 60, выпуск 4, страницы 696–700
DOI: https://doi.org/10.21883/FTT.2018.04.45677.183 (Mi ftt9231) 		 
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)

Диэлектрики

Исследование процесса локального анодного окисления тонких пленок GeO и создание наноструктур на их основе

К. Н. Астанковаa, А. С. Кожуховab, И. А. Азаровab, Е. Б. Гороховa, Д. В. Щегловa, А. В. Латышевab

a Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
b Новосибирский государственный университет
PDF полного текста (625 kB) Список цитирования (2)
DOI: https://doi.org/10.21883/FTT.2018.04.45677.183
Аннотация: Представлены результаты исследований процесса локального анодного окисления тонких пленок GeO с помощью атомно-силового микроскопа. Методом рентгеновского микроанализа установлено, что окисленные участки пленки GeO представляют собой диоксид германия. Исследовано влияние длительности импульсов напряжения, прикладываемого к системе зонд-подложка, и влажности воздуха на высоту оксидных структур. Кинетика процесса локального анодного окисления (ЛАО) GeO в полуконтактном режиме подчиняется модели Кабрера–Мотта для больших времен. Начальная скорость роста окисла $(R_{0})$ значительно увеличивается, а время начала окисления $(t_{0})$ уменьшается при повышении влажности воздуха на 20%, что связано с увеличением концентрации кислородсодержащих ионов на поверхности окисляемой пленки GeO. Показана возможность формирования наноструктур в тонких слоях GeO методом ЛАО.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский фонд фундаментальных исследований 16-07-00975
Российский научный фонд 14-22-00143
Рентгеновский микроанализ пленки GeO до и после окисления выполнялся при финансовой поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант № 16-07-00975). АСМ измерения проводились при поддержке Российского научного фонда (грант № 14-22-00143).
Поступила в редакцию: 05.06.2017
Англоязычная версия:
Physics of the Solid State, 2018, Volume 60, Issue 4, Pages 700–704
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063783418040030
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: К. Н. Астанкова, А. С. Кожухов, И. А. Азаров, Е. Б. Горохов, Д. В. Щеглов, А. В. Латышев, “Исследование процесса локального анодного окисления тонких пленок GeO и создание наноструктур на их основе”, Физика твердого тела, 60:4 (2018), 696–700; Phys. Solid State, 60:4 (2018), 700–704
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{AstKozAza18}
\by К.~Н.~Астанкова, А.~С.~Кожухов, И.~А.~Азаров, Е.~Б.~Горохов, Д.~В.~Щеглов, А.~В.~Латышев
\paper Исследование процесса локального анодного окисления тонких пленок GeO и создание наноструктур на их основе
\jour Физика твердого тела
\yr 2018
\vol 60
\issue 4
\pages 696--700
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ftt9231}
\crossref{https://doi.org/10.21883/FTT.2018.04.45677.183}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=32739840}
\transl
\jour Phys. Solid State
\yr 2018
\vol 60
\issue 4
\pages 700--704
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063783418040030}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt9231
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v60/i4/p696
    • Эта публикация цитируется в следующих 2 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика твердого тела Физика твердого тела
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:56
    PDF полного текста:13
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024