Особенности фазообразования и электронного строения в пленочных композитах Al$_{1-x}$Si$_{x}$ при магнетронном и ионно-лучевом напылении

Методами рентгеновской дифракции и ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии исследованы особенности фазового состава и электронного строения композитных пленок алюминий-кремний вблизи состава Al$_{0.75}$Si$_{0.25}$ на кремниевой подложке Si(100), полученных методами магнетронного и ионно-лучевого напыления. При магнетронном напылении в поликристаллической Al матрице кроме нанокристаллов кремния размерами около 25 nm, образуется упорядоченный твердый раствор, соответствующий неизвестной ранее фазе Al$_{3}$Si. Пленки, полученные ионно-лучевым распылением составной мишени, оказались однофазными и содержащими только одну фазу упорядоченного твердого раствора силицида алюминия Al$_{3}$Si кубической сингонии Рm3m с параметром примитивной ячейки $a$ = 4.085 $\mathring{\mathrm{A}}$. Однако последующий импульсный фотонный отжиг различными дозами от 145 до 216 J/cm$^{2}$ приводит к частичному распаду фазы Al$_{3}$Si с формированием в композите свободного металлического алюминия и нанокристаллов кремния с размерами в интервале 50–100 nm в зависимости от дозы ИФО.